西安邮电大学大型仪器设备开放共享信息登记表
主管学院（公章）：
经办人：陈海峰 经办日期： 2025 年 10月 27 日
仪器名称
电子束蒸发设备
英文名称（如有）
Electron beam evaporation equipment
资产编号
YQ2021001401
仪器分类编号
放置地点（楼宇）
电子工程学院大楼
放置地点（房间）
109
仪器负责人
陈海峰
仪器操作人
操作人联系电话
02988166273
操作人联系邮箱
chenhaifeng@xupt.edu.cn
所属单位
西安邮电大学
规格、型号
赛威斯FilmLab-500EB
仪器价格（总价）
728000
生产厂家
赛威斯
制造国家
中国
购置日期：（年/月/日）
2019/12
出厂日期：（年/月/日）
2020/09
主要规格及技术指标
真空度可达2×10⁻5 Torr，电子枪功率8 kW，支持4穴水冷坩埚，最大可镀6″晶圆，膜厚均匀性优于±3%，蒸发速率0.01–10 nm/s可控，厚度重复精度±1 nm，支持基底液氮冷却，适用于高熔点金属与介质材料的纳米级薄膜沉积。
主要功能及特点
采用电子束局部轰击蒸发高熔点材料，具备高真空、高纯度、高厚度精度等优势，可实现多层膜共蒸及Lift-off工艺，膜层致密、附着力强。
主要附件及配置
包括电子枪系统、4穴水冷坩埚、石英晶振膜厚监控系统、高真空泵组（分子泵+机械泵）、样品冷却台、晶圆旋转机构等。
主要测试和研究领域
广泛应用于半导体器件金属化、微纳电极制备、光学薄膜（反射镜、滤光片）、OLED电极、催化剂薄膜等领域，是材料科学、凝聚态物理、光电子学和量子器件研究中的关键薄膜制备工具。
用户范围及服务项目
为校内、校外全国各地各单位开放科研服务，提供工艺开发、样品镀膜、设备租赁、技术培训等项目服务。
共享收费标准
按样品数
按机时数
元/个 (校外)
元/个（校内）
1000元/小时 (校外)
800元/小时（校内）
仪器图片（或多媒体
信息）
下一条：等离子喷涂系统 YQ2020001650
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