电子束蒸发镀膜机 Electron beam evaporation system

西安邮电大学大型仪器设备开放共享信息登记表

主管学院（公章）：
经办人：任卫经办日期： 2025年10月21日
仪器名称	电子束蒸发镀膜机
英文名称（如有）	Electron beam evaporation system
资产编号	TY2019000399
仪器分类编号
放置地点（楼宇）	1号实验楼
放置地点（房间）	119室
仪器负责人	任卫
仪器操作人	任卫
操作人联系电话	15739599618
操作人联系邮箱	896991961@qq.com
所属单位	理学院
规格、型号	兴南ZZS700
仪器价格（总价）	56.8万
生产厂家	成都兴南科技有限责任公司
制造国家	中国
购置日期：（年/月/日）	2018年9月2日
出厂日期：（年/月/日）	2018年11月2日
主要规格及技术指标	电子束蒸发源(双枪、双灯丝、双扫描、单高压电源); 极限真空：3×10-4 Pa; 箱体内腔尺寸Φ700×850mm; 直接水冷却的6穴无氧铜坩埚
主要功能及特点	可在各种基底材料/工件表面蒸镀多种金属/非金属功能薄膜材料
主要附件及配置
主要测试和研究领域	合金薄膜、电介质薄膜等
用户范围及服务项目	为校内、校外全国各地各单位开放科研服务，为功能薄膜材料提供制样服务。
共享收费标准	按样品数按样品数按机时数按机时数	200元/个 (校外) 100元/个（校内） 400小时 (校外) 200小时（校内）
仪器图片（或多媒体信息）